マスフローコントローラー・マスフローメーター・気体流量制御・気体流量計測/エフコン株式会社[FCON]

マスフローコントローラー
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マスフローコントローラー[Mass Flow Controller]

マスフローコントローラーは、電気信号によりガスの流量制御を自動的に制御します。流体の質量を計測することにより流量制御を行うので、環境温度や使用圧力等の変化による補正を行う必要がありません。マスフローコントローラーは、高精度な流量計測・制御が必要とされる半導体やフラットパネルディスプレイ、太陽電池パネルなどのプロセスや装置に多く使用されておりますが、当社製品は、分析、燃料電池、有機EL、バイオ、培養、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備等のあらゆるプロセス、装置にご使用頂けるよう基本性能に特化することで低価格なマスフローコントローラーを実現しました。

当社のマスフローコントローラーや関連製品は、質量流量計測制御の技術をベースに低価格でご提供させて頂ける製品開発を目指します。また、高精度・高性能なマスフローコントローラーもご提供が可能です。
お客様のご用途に応じてご提案をさせて頂きますので、お気軽にご相談/お問い合わせ下さい!

製品一覧
FCON

2000 series mass flow controllers

newデジタルマスフローコントローラー
2000シリーズ

表示設定器の一体化により、本体のみで設定制御が可能
デジタル通信:RS485通信機能を標準搭載
アナログ入出力信号:0-5Vと4-20mAを任意に切替可能
積算及び流量異常上下限アラーム機能を搭載
駆動電源:+24VDC単電源(ACアダプター利用可能)
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1000 series mass flow controllers

低価格マスフローコントローラー
1000シリーズ

質量流量制御器の基本機能に特化したアナログ低価格モデル
IN側バルブ開時のオーバーシュート(フローサージ現象)を抑制
各種分析・培養・バイオ・農業・医薬・医療・食品・理化学など幅広い分野でご使用頂けます。
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CUBEMFC

制御電源一体型マスフローコントローラー
CUBEMFCシリーズ

1000シリーズと制御電源をコンパクトにオールインワン
AC100Vのコンセントに接続するだけでご使用頂けます。
各種分析・培養・バイオ・農業・医薬・医療・食品・理化学など幅広い分野でご使用頂けます。
[CUBEMFCシリーズ]の詳細ページへ

FCST1000L series mass flow controllers

アナログマスフローコントローラー
FCST1000(M)Lシリーズ

アナログ制御の汎用モデル/高品質・高性能
高速応答/RoHS対応
各種分析・太陽電池パネル・燃料電池・光ファイバー・LED・医薬・医療・バイオ・培養・理化学など幅広い分野でご使用頂けます。
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FCST1000 series mass flow controllers

デジタルマスフローコントローラー
FCST1000(M)Fシリーズ

デジタル制御の標準モデル/RoHS対応
デジタルインターフェイス標準装備RS485
デバイスネット通信対応
最大4種類のガスデーターがINPUT可能(オプション:MG仕様)
専用ソフトウェアで9台までPC制御が可能
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FCST1000Z series mass flow controllers

MGMRマスフローコントローラー
FCST1000(M)Zシリーズ

マルチガスマルチレンジ(MG/MR)機能モデル
高精度:±1%S.P(100~25%)/耐食ハステロイセンサー搭載
RoHS対応/デジタルインターフェイス標準装備RS485
デバイスネット通信対応
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FCST1000MF-HT

高温用マスフローコントローラー
FCST1000MF-HTシリーズ

FCST1000MFシリーズの高温用モデル
Max80℃高温対応/精度:±1%F.S/全流量域応答1秒以内
RoHS対応/デジタルインターフェイス標準装備RS485
デバイスネット通信対応
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FCST2000 series mass flow controllers

デジタルマスフローコントローラー
FCST2000シリーズ

ピエゾバルブ採用/流量精度±1%S.Pを実現
高信頼性ダイヤフラムバルブ/RoHS対応
デジタルインターフェイス標準装備RS485
デバイスネット通信対応
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PCST1000F series pressure controllers

オートプレッシャーコントローラー
PCST1000Fシリーズ

熱式質量流量センサー搭載、ガス流量モニター付き圧力制御機器
アラーム・積算・ランピング機能等を標準装備
デジタルインターフェイス標準装備RS485
外部圧力センサーの信号と比較制御。EMC規格(CE)/RoHS対応
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UPC series pressure controller

オートプレッシャーコントローラー
UPCシリーズ

圧力センサーを内蔵し、自動で圧力を一定に保ちます。
電気信号で任意の圧力設定が可能、マスフローコントローラーの上流に接続すると極めて安定した流量制御が可能となります。
高温タイプ(150、250℃)・流量モニタ付モデルもラインナップ。
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SIERRA

SmartTrak

パイロットモジュールマスフローコントローラー
SmartTrakシリーズ

制御電源やPCを必要としない、パイロットモジュールで簡単操作
10種類のガス種変更が可能
デジタル/アナログ共に多彩な入出力設定が可能
各種分析・太陽電池パネル・燃料電池・光ファイバー・LED・医薬・医療・バイオ・培養・理化学など幅広い分野でご使用頂けます。
[SmartTrakシリーズ]の詳細ページへ

MaxTrak

防水防塵マスフローコントローラー
MaxTrakシリーズ

丸洗いが可能な防水・防塵仕様
デジタル/アナログ共に多彩な入出力設定が可能
オプションにてフランジ継手が選択可能
プラントなどの過酷な環境下でのご使用に最適です。
[MaxTrakシリーズ]の詳細ページへ

new2019/11/7

【JAPAN PACK 2019】
開催期間:2019年10月29日~11月1日
ご来場頂き誠にありがとうございました。

new2019/9/27

METALEX2019】に出展します。
開催期間:2019年11月20日~23日
開催場所:バンコク/タイ [BITEC]
小間番号:HALL98 AI10
皆さまのご来場をお待ちしております。

2019/7/5

デジタルマスフローコントローラー
2000シリーズ]を新たにラインナップしました。

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