マスフローコントローラー・マスフローメーター・気体流量制御・気体流量計測／エフコン株式会社[FCON]

マスフローコントローラーは、電気信号によりガスの流量制御を自動的に制御します。流体の質量を計測することにより流量制御を行うので、環境温度や使用圧力等の変化による補正を行う必要がありません。マスフローコントローラーは、高精度な流量計測・制御が必要とされる半導体やフラットパネルディスプレイ、太陽電池パネルなどのプロセスや装置に多く使用されておりますが、当社製品は、分析、燃料電池、有機ＥＬ、バイオ、培養、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備等のあらゆるプロセス、装置にご使用頂けるよう基本性能に特化することで低価格なマスフローコントローラーを実現しました。

当社のマスフローコントローラーや関連製品は、質量流量計測制御の技術をベースに低価格でご提供させて頂ける製品開発を目指します。また、高精度・高性能なマスフローコントローラーもご提供が可能です。
お客様のご用途に応じてご提案をさせて頂きますので、お気軽にご相談／お問い合わせ下さい！

	デジタルマスフローコントローラー ［2000シリーズ］ RoHS・CE対応 表示設定器の一体化により、本体のみで設定制御が可能 デジタル通信：RS485通信機能を標準搭載 アナログ入出力信号：0-5Vと4-20mAを任意に切替可能 積算及び流量異常上下限アラーム機能を搭載 駆動電源：+24VDC単電源（ACアダプター利用可能） 校正証明書/校正成績書/トレーサビリティー体系図の有償発行が可能 [2000シリーズ]の詳細ページへ
	低価格マスフローコントローラー ［1000シリーズ］ 質量流量制御器の基本機能に特化したアナログ低価格モデル ＩＮ側バルブ開時のオーバーシュート（フローサージ現象）を抑制 校正証明書/校正成績書/トレーサビリティー体系図の有償発行が可能 各種分析・培養・バイオ・医薬・医療・食品・理化学など幅広い分野でご使用頂けます。 [1000シリーズ]の詳細ページへ
	制御電源一体型マスフローコントローラー ［CUBEMFCシリーズ］ 1000シリーズと制御電源をコンパクトにオールインワン AC100Vのコンセントに接続するだけでご使用頂けます。 校正証明書/校正成績書/トレーサビリティー体系図の有償発行が可能 各種分析・培養・バイオ・医薬・医療・食品・理化学など幅広い分野でご使用頂けます。 [CUBEMFCシリーズ]の詳細ページへ
	ガスフローメーター ［GFMシリーズ］ サーマルセンサーを搭載。 コンパクトサイズで、最大200LMの計測が可能。 低圧損構造：シンプルな流路構造で低圧損。 流量出力信号：アナログ（0～5VDC）。 各種ポンプや設備装置での流量計測に幅広い分野でご使用頂けます。 [GFMシリーズ]の詳細ページへ

	アナログマスフローコントローラー ［FCST1000(M)Lシリーズ］ アナログ制御の汎用モデル／高品質・高性能 高速応答／RoHS対応 各種分析・太陽電池パネル・燃料電池・光ファイバー・LED・医薬・医療・バイオ・培養・理化学など幅広い分野でご使用頂けます。 [FCST1000(M)Lシリーズ]の詳細ページへ
	デジタルマスフローコントローラー ［FCST1000(M)Fシリーズ］ デジタル制御の標準モデル／RoHS対応 デジタルインターフェイス標準装備RS485 デバイスネット通信対応 最大4種類のガスデーターがINPUT可能（オプション：MG仕様） 専用ソフトウェアで9台までPC制御が可能 [FCST1000(M)Fシリーズ]の詳細ページへ
	ＭＧＭＲマスフローコントローラー ［FCST1000(M)Zシリーズ］ マルチガスマルチレンジ(MG/MR)機能モデル 高精度：±1%S.P(100～25%)／耐食ハステロイセンサー搭載 RoHS対応／デジタルインターフェイス標準装備RS485 デバイスネット通信対応 [FCST1000(M)Zシリーズ]の詳細ページへ
	高温用マスフローコントローラー ［FCST1000MF-HTシリーズ］ FCST1000MFシリーズの高温用モデル Max80℃高温対応／精度：±1%F.S／全流量域応答1秒以内 RoHS対応／デジタルインターフェイス標準装備RS485 デバイスネット通信対応 [FCST1000MF-HTシリーズ]の詳細ページへ
	デジタルマスフローコントローラー ［FCST2000シリーズ］ ピエゾバルブ採用／流量精度±1%S.Pを実現 高信頼性ダイヤフラムバルブ／RoHS対応 デジタルインターフェイス標準装備RS485 デバイスネット通信対応 [FCST2000シリーズ]の詳細ページへ
	オートプレッシャーコントローラー ［PCST1000Fシリーズ］ 熱式質量流量センサー搭載、ガス流量モニター付き圧力制御機器 アラーム・積算・ランピング機能等を標準装備 デジタルインターフェイス標準装備RS485 外部圧力センサーの信号と比較制御。EMC規格（CE）／RoHS対応 [PCST1000Fシリーズ]の詳細ページへ
	オートプレッシャーコントローラー ［UPCシリーズ］ 圧力センサーを内蔵し、自動で圧力を一定に保ちます。 電気信号で任意の圧力設定が可能、マスフローコントローラーの上流に接続すると極めて安定した流量制御が可能となります。 高温タイプ(150、250℃)・流量モニタ付モデルもラインナップ。 [UPCシリーズ]の詳細ページへ