マスフローコントローラー・マスフローメーター・防水・防塵・流量制御・流量計測／エフコン株式会社[FCON]
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防水・防塵マスフローコントローラー
MaxTrakシリーズ
防水・防塵マスフローコントローラー［MaxTrakシリーズ］の特長
●丸洗いが可能な防水仕様。防水・防塵仕様のマスフローコントローラーです。
●SmartTrak100シリーズを防水・防塵仕様に変更したモデルです。
●オプションでフランジ継手に変更可能です。
●流量レンジ10SCCMから1000SLPMをラインナップ。
●2種類のデジタル通信プロトコルより選択可能。アナログ入出力は、0～5Vや4～20mAなど自在に切り替えが可能。
●分析、燃料電池、液晶、有機ＥＬ、バイオ、培養、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備など幅広い分野でご使用頂けます。
仕様
| 型式:マスフローコントローラ | C180M | C180M1 | C180H | C180H1 | C180H2 |
|---|---|---|---|---|---|
| 型式:マスフローメータ | M180M | M180M1 | M180H | M180H1 | M180H2 |
| 流量レンジ | 10SCCM～200SLPM | 201～300SLPM | 100～500SLPM | 501～800SLPM | 801～1000SLPM |
| バルブタイプ | NC：ノーマルクローズ | ||||
| アクチュエータ方式 | ソレノイドバルブ（メーターの場合は対象外） | ||||
| 制御流量範囲 | 2～100％ F.S | ||||
| 応答性*1 | 2sec（設定値の±2％以内） | ||||
| 流量精度*2 | ±1.0％ F.S | ±2.0％ F.S | ±1.0％ F.S | ||
| 再現性*2 | ±0.2％ F.S | ||||
| 耐圧 | 3.4MPa(G) | ||||
| 外部リーク | 5×10-10Pa･m3/sec He | ||||
| 使用可能温度範囲 | 0～50℃ | ||||
| 設定／出力信号 | 標準：0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC、4～20mA、RS232 変更可 オプション：RS485、Modbus RTU(RS232、RS485) |
||||
| 温度影響 | ±0.05％／℃ F.S | ||||
| 圧力影響 | ±0.0015％／kPa F.S | ||||
| 接ガス部材質 | SUS316L、バイトン*3 or ネオプレン*3 or カルレッツ*3選択 | ||||
| シール部材質 | バイトン*3 or ネオプレン*3 or カルレッツ*3選択 | ||||
| 駆動電源（MFC） | 24VDC±10％ 700mA | 24VDC±10％ 1260mA | |||
| 駆動電源（MFM） | 15～24VDC±10％ 130mA | ||||
| 接続継手 | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | ||||
※1 調整可能です。詳しくはお問い合わせ下さい。
※2 NIST（アメリカ国立標準技術研究所）トレーサビリティー。
※3 または同等品の場合があります。
製品カタログ
| ■外形寸法は、下記カタログをダウンロードの上、ご参照頂きますようお願い致します。 |
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防水防塵マスフローコントローラー［MaxTrakシリーズ］のカタログ（PDFデーター）がダウンロード出来ます。 |
