マスフローコントローラー・マスフローメーター・流量制御・流量計測/エフコン株式会社[FCON]

制御電源一体型マスフローコントローラー

CUBEMFCシリーズ

FCON
CUBEMFC
特長

●低価格マスフローコントローラー1000シリーズと制御電源をコンパクトにオールインワンした制御電源一体型マスフローコントローラーです。
●コンパクトサイズで、100VACコンセントに接続するだけでご使用頂けます。
●スタート時のオーバーシュートを抑制(30秒以上のインターバルが必要)
●入出力:アナログ(0~5VDC)、背面に設定/出力電圧のモニター用端子を装備。
●医薬・培養・バイオ・農業・溶接・蒸着コーティング・分析など、大学・公共機関・一般企業の各種研究や実験など幅広い分野でご使用頂けます。
newご要望に応じて当社製品の流量校正に関する証明書・成績書・トレーサビリティー体系図を有償で発行致します。
new流量精度±1%F.S対応が可能です。対応可能ガス種や流量等の詳細についてはお問い合わせ下さい。

製品カタログ
CUBEMFCシリーズカタログ
CUBEMFCシリーズ取扱説明書
CUBEMFCシリーズのカタログ及び取扱説明書がダウンロードできます。
仕様
型式 CUBE MFC 1005/1020/1030/1050/1100
マスフローコントローラー 1000シリーズ
ガス種 搭載MFCに準ずる
流量(N2換算流量) 10SCCM~100SLM(搭載MFCに準ずる)
バルブタイプ NO:ノーマルオープン(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲 5~100% F.S(メーターの場合は対象外)
流量精度 ±2% F.S[※±1% F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)詳細はお問い合わせ下さい
流量設定 0.25~5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変
流量設定・出力信号/表示 0~5VDC/DP表示:スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動)
再現性 ±0.2% F.S
応答時間 6sec
必要差圧 搭載MFCに準ずる
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度 5~50℃(制度保証範囲:15~35℃)、85%RH以下(結露なきこと)
外部リーク 1×10-7Pa・m3/sec He
電源、消費電流 AC100~240V:500mA
通信方式 アナログ:0~5VDC
接ガス部材質 SUS316L、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質 フッ素ゴム
アクチュエータ方式 サーマル(メーターの場合は対象外)
表面処理 機械加工仕上げ
接続継手 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。
付属品 ACケーブル、取扱説明書

外形寸法
CUBEMFC1005
品番表示
CUBEMFC
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