マスフローコントローラー・マスフローメーター・流量制御・流量計測／エフコン株式会社[FCON]

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制御電源一体型マスフローコントローラー

CUBEMFCシリーズ

●低価格マスフローコントローラー1000シリーズと制御電源をコンパクトにオールインワンした制御電源一体型マスフローコントローラーです。
●コンパクトサイズで、１００VACコンセントに接続するだけでご使用頂けます。
●スタート時のオーバーシュートを抑制（30秒以上のインターバルが必要）
●入出力：アナログ（0～5VDC）、背面に設定/出力電圧のモニター用端子を装備。
●医薬・培養・バイオ・農業・溶接・蒸着コーティング・分析など、大学・公共機関・一般企業の各種研究や実験など幅広い分野でご使用頂けます。
※ご要望に応じて当社製品の流量校正に関する証明書・成績書・トレーサビリティー体系図を有償で発行致します。
※流量精度±1%F.S対応が可能です。対応可能ガス種や流量等の詳細についてはお問い合わせ下さい。
※ノーマルクローズタイプ（C1005NC）をラインアップしました。

CUBEMFCシリーズのカタログ及び取扱説明書がダウンロードできます。

型式：マスフローコントローラーNO	CUBE MFC 1005/1020/1030/1050/1100
型式：マスフローコントローラーNC	[NEW]　CUBE MFC 1005NC　　[開発中] 1020NC/1020NC/1050NC
型式：マスフローメーター	CUBE MFM 1005/1020/1030/1050/1100
ガス種	搭載MFC／MFMに準ずる
流量（N2換算流量）	10SCCM～100SLM（搭載MFC／MFMに準ずる）
バルブタイプ	NO：ノーマルオープン、NC：ノーマルクローズ（メーターの場合は対象外）
制御流量範囲	5～100％ F.S（メーターの場合は対象外）
流量精度	±2％ F.S[※±1％ F.S対応可]（精度保証範囲15～35℃）詳細はお問い合わせ下さい
流量設定	0.25～5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変（メーターの場合は対象外）
流量設定・出力信号／表示	0～5VDC／DP表示：スケーリング表示（トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動）
再現性	±0.2％ F.S
応答時間	搭載MFCに準ずる
必要差圧	搭載MFCに準ずる
耐圧力	1MPa(G)
使用保証温度	5～50℃（精度保証範囲：15～35℃）、85％RH以下（結露なきこと）
外部リーク	1×10-7Pa･m3/sec He
電源、消費電流	AC100～240V：500mA
通信方式	アナログ：0～5VDC
接ガス部材質	SUS316L、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質	フッ素ゴム
アクチュエータ方式	サーマル（メーターの場合は対象外）
表面処理	機械加工仕上げ
接続継手	1/4in.SWL（相当品）、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。
付属品	ＡＣケーブル、取扱説明書

※流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs（1atm）校正です。
※流量単位「CCM、LM」の20℃や25℃での校正をご希望の場合はご指定下さい。

※流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs（1atm）校正です。
※流量単位「CCM、LM」の20℃や25℃での校正をご希望の場合はご指定下さい。