マスフローコントローラー・UPCシリーズ・自動圧力制御機器/エフコン株式会社[FCON]

TOPマスフローコントローラー>UPCシリーズ(自動圧力制御機器)

オートプレッシャーコントローラー(自動圧力制御)

UPCシリーズ

fujikin
UPC
特長

●動作原理:圧力センサーを内蔵し、圧力を一定に保ちます。
●電気信号で任意の圧力が設定可能。
●マスフローコントローラーの上流に接続すると、極めて安定な流量制御が可能。
●一つのラインにマスフローコントローラーが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフローコントローラーに影響を与えることがあります。この場合、UPCシリーズを使用することによりこの影響を防止出来ます(下流圧力制御タイプ)。
●UPCUS(上流圧力制御タイプ)は、MO-CVDなどの液体ソースの内圧を一定に保ち、気化量の安定性を向上します。
●ウエハ裏面冷却用制御器として対応可能。高温タイプ(150℃、250℃)・流量モニター付もラインアップ。
●半導体やフラットパネルディスプレイ、ソーラーパネルなど先端技術産業から一般工業まで幅広い分野での圧力制御にご使用頂けます。
●DeviseNetTMインターフェイスに対応(ご指定下さい)。RoHS対応:RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。

仕様
型式 UPC
(Downstream pressure controller)
FCST1050(M)ZF
FCST1050(M)ZD(DeviceNet)
圧力レンジ F.S. 13.3kPa abs.(100Torr) F.S. 150/300/500kPa sbs. F.S. 150/300/500kPa sbs.
制御圧力範囲 1~100% 1~100%※1
コントロールバルブCV値 - L Type:0.0055 / M Type:0.011 / H Type:0.03
調圧制度
(オートゼロ実施後)
1~40%:±0.2%F.S.
40~100%:±0.5%S.P.
F.S. 150kPa abs. [1~40%:±0.2%F.S.、40~100%:±0.5%S.P.]
F.S. 300/500kPa abs. [1~20%:±0.1%F.S.、20~100%:±0.5%S.P.]
供給圧力範囲 0~200kPaG ~897.3kPaG -
耐圧 200kPaG 1MPaG
外部リーク <1.0×10-10Pa・m3/sec
使用可能温度範囲 0~50℃(制度保証温度範囲:15~35℃)※2
供給電源電圧、消費電流 +15VDC:120mA、-15VDC:120mA
DeviceNet:+11~25VDC、4.0W
圧力設定/出力信号 0-10VDC/0-10VDC 0-5VDC/0-5VDC
接ガス部材質 SUS316L、Ni-Co Alloy SUS316L、Ni-Co Alloy、FS9
接続継手・寸法 1.5W-Seal(79.8mm)、1/4インチUJR(124mm) 1.5W-Seal(79.8mm)、1/4インチUJR(106、124mm)、1.125W-Seal(92mm)

※1 制御範囲:UPCUSの制御範囲は条件により変わります。詳細はお問い合わせ下さい。
※2 制度保証温度範囲は、15~50℃のHT50タイプのオプション対応が可能です。
接続例
 
UPCsetup
製品カタログ
■外形寸法は、下記カタログをダウンロードの上、ご参照頂きますようお願い致します。
FCST1000シリーズカタログ
UPCシリーズ(オートプレッシャーコントローラー)(自動圧力制御機器)のカタログ(PDFデーター)がダウンロード出来ます。
※ PDFデータを閲覧するには 「Adobe Acrobat Reader」が必要です。
お問い合わせ