マスフローコントローラー・マスフローメーター・流量制御・流量計測／エフコン株式会社[FCON]

低価格マスフローコントローラー

1000シリーズ

FCON
FCST1000シリーズ
特長

●マスフローコントローラーの基本機能に特化した低価格モデル。
●基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と信頼性を高めています。
●new新機能を搭載した専用制御電源【PA02】を新たにラインナップしました。
●コンパクトサイズ
●スタート時のフローサージ現象（オーバーシュート）を抑制（30秒以上のインターバルが必要）
●入出力：アナログ（0～5VDC）
●医薬・培養・バイオ・農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い分野でご使用頂けます。
※ご要望に応じて当社製品の流量校正に関する証明書・成績書・トレーサビリティー体系図を有償で発行致します。
※流量精度±1%F.S対応が可能です。対応可能ガス種や流量等の詳細についてはお問い合わせ下さい。

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製品カタログ

C1005/C1005NC
M1005
(F.S.10SCCM～5SLM）
1000シリーズカタログ
1005取扱説明書
 1000シリーズ
カタログ及び取扱説明書が
ダウンロードできます。
C1020-1100
(F.S.10～100SLM)
M1020-1050
(F.S.30～50SLM)
1030/1050/1100取扱説明書
仕様
型式:マスフローコントローラーNO C1005 C1020 C1030/C1050 C1100
型式:マスフローコントローラーNC C1005NC [開発中] C1020NC [開発中] C1030NC/C1050NC -
型式:マスフローメーター M1005 M1020 M1030/M1050 -
流量（N2換算流量） 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM		 10,20SLM 30,50SLM 100SLM
対応ガス種 各種ガス（腐食性ガスはご相談下さい） Air・N2・Ar・H2・CO2・O2・He Air・N2
バルブタイプ NO：ノーマルオープン、NC：ノーマルクローズ（メーターの場合は対象外）
制御流量範囲 5～100％ F.S（メーターの場合は対象外）
流量精度 ±2％ F.S[※±1％ F.S対応可]（精度保証範囲15～35℃）※詳細はお問い合わせ下さい。
流量設定信号 0.25～5VDC（メーターの場合は対象外）
流量出力信号 0～5VDC
再現性 ±0.2％ F.S ±0.5％ F.S
応答時間 ≦6sec ≦10sec ≦15sec
必要差圧 50～300KPa 200～300KPa
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度 5～50℃、85％RH以下
外部リーク 1×10-7Pa･m3/sec He
取付姿勢 指定なし（自由）
供給電源電圧、消費電流 +15VDC：60mA、-15VDC：150mA
通信方式 アナログ：0～5VDC
接ガス部材質 SUS316L、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質 フッ素ゴム
アクチュエータ方式 サーマル（メーターの場合は対象外）
表面処理 機械加工仕上げ
接続継手 1/4in.SWL（相当品）、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。

※流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs（1atm）校正です。
※流量単位「CCM、LM」の20℃や25℃での校正をご希望の場合はご指定下さい。
外形寸法
1000シリーズ
品番表示
1000シリーズ

※流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs（1atm）校正です。
※流量単位「CCM、LM」の20℃や25℃での校正をご希望の場合はご指定下さい。
　
【new】制御電源［PA02］
PA02

■簡単操作
■new設定／出力を2段で同時表示
■パネルマウン／据置の両対応
■new豊富な単位対応：％・ｍV・SCCM・SLM・mL/min・L/min
■new積算機能・流量異状アラーム機能搭載
■マスフローコントローラー供給電源：±15VDC
■入出力：アナログ（0～5V）信号
■new外部入出力：背面端子より可能
●［PA02］詳細ページへ
各種変換ケーブルの制作が可能です（他社製品からの置換え）。
他社のマスフローコントローラーから当社製品に置き換えてご使用頂く際、現在、ご使用中の制御電源はそのまま使用したい場合は、変換ケーブルの制作が可能です。
ただし、カードエッジタイプのコネクターなど、変換ケーブルの制作が出来ない場合もございますので、その際は、ご使用中の電源と当社マスフローコントローラーを接続する信号ケーブルの新規制作が可能ですので、詳細に関しましては、お気軽にお問い合わせ下さい。		 ConversionCable
例：丸型コネクターからD-sub9ピンへの変換ケーブル（長さ：約180mm）
右記写真
お問い合わせ