マスフローコントローラー・FCST1000MF-HTシリーズ・高温用・デジタル/エフコン株式会社[FCON]

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デジタルマスフローコントローラー/高温用モデル

FCST1000MF-HTシリーズ

fujikin
FCST1000MF-HT
特長

●高温用モデル:Max80℃の高温用デジタルマスフローコントローラー(80℃以上でご使用の場合は、別途お問い合わせ下さい)。
●半導体、ソーラーパネル、燃料電池、一般産業など幅広い分野でご使用頂けます。
●高速応答[ソレノイドバルブ採用]:1sec以下を実現、流量制御範囲(2~100%)を完全に1sec以内でカバー。
●高精度:±1.0%F.S以内。
●デジタルインターフェイス標準装備[RS485]:インテリジェンス化されるガス供給ラインに対応、デジタル制御や監視、分析が可能。
●DeviseNetTMインターフェイスに対応(ご指定下さい)。
●RoHS対応:RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。

仕様
型式:マスフローコントローラ FCST1005MF-HT
FCST1005MFD-HT
FCST1030MF-HT
FCST1030MFD-HT
FCST1050MF-HT
FCST1050MFD-HT
型式:マスフローメータ FCSTM1005MF-HT
FCSTM1005MFD-HT
FCSTM1030MF-HT
FCSTM1030MFD-HT
FCSTM1050MF-HT
FCSTM1050MFD-HT
流量(N2換算流量) 10,20,30,50,
100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM
10,20,30SLM 40,50SLM
バルブ動作 NC:ノーマルクローズ、NO:ノーマルオープン
制御流量範囲 2~100% F.S
流量精度 ±1% F.S(精度保証範囲:50~80℃)
流量設定信号 0.1~5VDC
流量出力信号 0~5VDC
再現性 ±0.2% F.S
応答時間 ≦1sec
必要差圧 50~300KPa NO 50~300kPa(6~10SLM)
100~300kPa(11~20SLM)
150~300kPa(21~30SLM)
200~300KPa
NC 50~300kPa(6~10SLM)
100~300kPa(11~30SLM)
最大動作圧力 400KPa(G)
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度範囲 50~80℃
外部リーク 1×10-11Pa・m3/sec He
取付姿勢 指定なし(自由)
供給電源電圧、消費電流 +15VDC:50mA、-15VDC:200mA
DeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W)
通信方式 アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet
接ガス部材質 SUS316、磁性ステンレス、PTFE
シール部材質 SUS316L
アクチュエータ方式 ソレノイドアクチュエータ
表面処理 EP処理オプション
接続継手 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal
デジタル通信 RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

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豊富なアプリケーション
デジタル回路で構成されているマスフローコントローラーは、アナログ入出力の他にデジタル通信(RS-485)機能がありますので、各種アプリケーションは監視、健全性管理、トラブル解析、在庫削減に効果を発揮します。詳細につきましては、お問い合わせ下さい。
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FCST1000外形寸法
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