マスフローコントローラー・FCST1000Zシリーズ・マルチガスマルチレンジ/エフコン株式会社[FCON]

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デジタルマスフローコントローラー
マルチガスマルチレンジモデル

FCST1000Zシリーズ

fujikin
FCST1000Z
特長

●マルチガスモデル:マルチガスマルチレンジ(MG/MR)機能を搭載、ガス種・流量をお客様で簡単に変更可能。
10SCCM~50SLMまで、8種類のレンジで対応。
●半導体やフラットパネルディスプレイ、ソーラーパネルなど先端技術産業から一般工業まで幅広い分野でご使用頂けます。
●高精度:±1%S.P(100~25%)
●塩素系ガスの耐食性向上:耐食ハステロイセンサー搭載
●高速応答[ソレノイドバルブ採用]:全流量域1sec以下を実現。
●メタルシールとラバーシールをラインアップ。
●デジタルインターフェイス標準装備[RS485]:インテリジェンス化されるガス供給ラインに対応、デジタル制御や監視、分析が可能。
●DeviseNetTMインターフェイスに対応(ご指定下さい)。
●RoHS対応:RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。

仕様
型式:マスフローコントローラ FCST1005(M)ZF
FCST1005(M)ZD(DeviceNet)
FCST1030(M)ZF
FCST1030(M)ZD(DeviceNet)
FCST1050(M)ZF
FCST1050(M)ZD(DeviceNet)
型式:マスフローメータ FCSTM1005(M)ZF
FCSTM1005(M)ZD
FCSTM1030(M)ZF
FCSTM1030(M)ZD
FCSTM1050(M)ZF
FCSTM1050(M)ZD
流量(N2換算流量) Bin1:30SCCM、Bin2:100SCCM
Bin3:300SCCM、Bin4:1SLM
Bin5:3SLM
Bin6:10SLM
Bin7:30SLM
Bin8:50SLM
バルブタイプ NC:ノーマルクローズ、NO:ノーマルオープン
制御流量範囲 2~100% F.S
流量精度 100~25%:±1.0%S.P、25~2%:±0.25% F.S(精度保証範囲15~35℃)
流量設定信号 0.1~5VDC
流量出力信号 0~5VDC
再現性 ±0.2% F.S
応答時間 ≦1sec
必要差圧 50~300KPa
(Ar:100~300kPa)
NO 50~300KPa
(3~10SLM)
200~300KPa
(Ar:250~450kPa)
150~300KPa
(11~30SLM)
NC 50~300KPa
(3~10SLM)
100~300KPa
(11~30SLM)
(Ar:150~400kPa)
最大動作圧力 400KPaG(Ar:500kPaG)
耐圧力 1MPaG
使用保証温度 5~50℃
外部リーク メタルシール:1×10-11Pa・m3/sec He  ラバーシール:1×10-7Pa・m3/sec He
取付姿勢 指定なし(自由)
供給電源電圧、消費電流 +15VDC:50mA、-15VDC:200mA
DeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W)
通信方式 アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet
接ガス部材質 SUS316L、磁性ステンレス、Hastelloy(センサー部)、PTFE
シール部材質 メタルシール:SUS316L  ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム
アクチュエータ方式 ソレノイドアクチュエータ
表面処理 EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し
接続継手 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal
デジタル通信 RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

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豊富なアプリケーション
デジタル回路で構成されているマスフローコントローラーは、アナログ入出力の他にデジタル通信(RS-485)機能がありますので、各種アプリケーションは監視、健全性管理、トラブル解析、在庫削減に効果を発揮します。詳細につきましては、お問い合わせ下さい。
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