マスフローコントローラー・マスフローメーター・流量制御・流量計測/エフコン株式会社[FCON]

newデジタルマスフローコントローラー

2000シリーズ

FCON
2000シリーズ
特長

newRoHS・CE対応。
●表示設定器の一体化により、本体のみで設定制御が可能です。
●駆動電源は、+24VDC単電源(500mA以上のACアダプター利用可能)。
●表示設定器一体化に加えて小型・省スペース化を実現したコンパクトサイズ。
●各種設備装置への搭載が容易。
●デジタル通信:RS485通信機能を標準搭載。
●アナログ入出力信号:0-5Vと4-20mAを任意に切替可能。
●積算及び流量異常上下限アラーム機能を搭載。
●PC制御用アプリケーションソフト(オプション提供)。
new20SLMが対応可能になりました。
●医薬・培養・バイオ・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い分野でご使用頂けます。
newご要望に応じて当社製品の流量校正に関する証明書・成績書・トレーサビリティー体系図を有償で発行致します。

APP
製品カタログ

C2005・2020/M2005・2020
(F.S.10SCCM~20SLM)

2000シリーズカタログ
2005取扱説明書
2000シリーズ
カタログ及び取扱説明書が
ダウンロードできます。
仕様
型式:マスフローコントローラー C2005 C2020
型式:マスフローメーター M2005 M2020
流量(N2換算流量) 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM
10SLM new20SLM
対応ガス種 各種ガス(腐食性ガスはご相談下さい)
バルブタイプ NC:ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外)
制御流量範囲 2~100% F.S(メーターの場合は対象外)
流量精度 ±1% F.S(精度保証範囲15~35℃)
流量設定
(メーターの場合は対象外)
本体表示設定器・イベント入出力切替
デジタル:RS485   アナログ:0.1~5VDC/4.3~20mA(任意切替)
流量出力 本体表示器:7セグメントLED
デジタル:RS485   アナログ:0~5VDC/4~20mA(任意切替)
再現性 ±0.2% F.S
応答時間 ≦2sec
必要差圧 50~300KPa 100~300KPa 200~300KPa
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度 5~50℃、85%RH以下
外部リーク 1×10-7Pa・m3/sec He
取付姿勢 指定なし(自由)
供給電源電圧、消費電流 +24VDC、250mA未満
通信方式 デジタル:RS485   アナログ:0~5VDC/4~20mA(任意切替)
接ガス部材質 SUS316、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質 フッ素ゴム
アクチュエータ方式 ソレノイド(メーターの場合は対象外)
表面処理 機械加工仕上げ
接続継手 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。

※流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs(1atm)校正です。
※流量単位「CCM、LM」の20℃や25℃での校正をご希望の場合はご指定下さい。
外形寸法
2000シリーズ
品番表示
2000シリーズ

※流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs(1atm)校正です。
※流量単位「CCM、LM」の20℃や25℃での校正をご希望の場合はご指定下さい。
信号ケーブル及び駆動電源用ACアダプター
下記、信号ケーブルと駆動電源用ACアダプターの製作提供が可能です。
newRS485通信交換ユニット:本体とPC接続用デジタル通信ケーブル(RJ11)-(コンバーター)-(USB)及び制御用アプリケーションソフト
●デジタル通信用ケーブル:(RJ11)-(RJ11)(推奨品は、お問い合わせ下さい)
●アナログ通信用ケーブル:(ハーフピッチ20ピンコネクター)-(フリー端末)(推奨品は、お問い合わせ下さい)
■推奨駆動電源用ACアダプター:+24VDC(DC22.8~25.2V,500mA以上)
詳細に関しましては、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ