マスフローコントローラー・マスフローメーター・流量制御・流量計測／エフコン株式会社[FCON]

newデジタルマスフローコントローラー

2000シリーズ

FCON
2000シリーズ
特長

●newRoHS・CE対応。
●表示設定器の一体化により、本体のみで設定制御が可能です。
●駆動電源は、+24VDC単電源（500mA以上のACアダプター利用可能）。
●表示設定器一体化に加えて小型・省スペース化を実現したコンパクトサイズ。
●各種設備装置への搭載が容易。
●デジタル通信：RS485通信機能を標準搭載。
●アナログ入出力信号：0-5Vと4-20mAを任意に切替可能。
●積算及び流量異常上下限アラーム機能を搭載。
●PC制御用アプリケーションソフト（オプション提供）。
●new20SLMが対応可能になりました。
●医薬・培養・バイオ・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い分野でご使用頂けます。
※newご要望に応じて当社製品の流量校正に関する証明書・成績書・トレーサビリティー体系図を有償で発行致します。
APP
製品カタログ

C2005・2020/M2005・2020
(F.S.10SCCM～20SLM）
2000シリーズカタログ
2005取扱説明書
 2000シリーズ
カタログ及び取扱説明書が
ダウンロードできます。
仕様
型式:マスフローコントローラー C2005 C2020
型式:マスフローメーター M2005 M2020
流量（N2換算流量） 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM		 10SLM new20SLM
対応ガス種 各種ガス（腐食性ガスはご相談下さい）
バルブタイプ NC：ノーマルクローズ（メーターの場合は対象外）
制御流量範囲 2～100％ F.S（メーターの場合は対象外）
流量精度 ±1％ F.S（精度保証範囲15～35℃）
流量設定
（メーターの場合は対象外）		 本体表示設定器・イベント入出力切替
デジタル：RS485　　　アナログ：0.1～5VDC/4.3～20mA（任意切替）
流量出力 本体表示器：7セグメントLED
デジタル：RS485　　　アナログ：0～5VDC/4～20mA（任意切替）
再現性 ±0.2％ F.S
応答時間 ≦2sec
必要差圧 50～300KPa 100～300KPa 200～300KPa
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度 5～50℃、85％RH以下
外部リーク 1×10-7Pa･m3/sec He
取付姿勢 指定なし（自由）
供給電源電圧、消費電流 +24VDC、250mA未満
通信方式 デジタル：RS485　　　アナログ：0～5VDC/4～20mA（任意切替）
接ガス部材質 SUS316、PTFE、フッ素ゴム
シール部材質 フッ素ゴム
アクチュエータ方式 ソレノイド（メーターの場合は対象外）
表面処理 機械加工仕上げ
接続継手 1/4in.SWL（相当品）、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。

※流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs（1atm）校正です。
※流量単位「CCM、LM」の20℃や25℃での校正をご希望の場合はご指定下さい。
外形寸法
2000シリーズ
品番表示
2000シリーズ

※流量単位「SCCM、SLM」は、0℃、1013kPa abs（1atm）校正です。
※流量単位「CCM、LM」の20℃や25℃での校正をご希望の場合はご指定下さい。
信号ケーブル及び駆動電源用ACアダプター
下記、信号ケーブルと駆動電源用ACアダプターの製作提供が可能です。
●newRS485通信交換ユニット：本体とPC接続用デジタル通信ケーブル（RJ11）－（コンバーター）－（USB）及び制御用アプリケーションソフト
●デジタル通信用ケーブル：（RJ11）－（RJ11）（推奨品は、お問い合わせ下さい）
●アナログ通信用ケーブル：（ハーフピッチ20ピンコネクター）－（フリー端末）（推奨品は、お問い合わせ下さい）
■推奨駆動電源用ACアダプター：+24VDC（DC22.8～25.2V，500mA以上）
詳細に関しましては、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ