マスフローコントローラー・FCST1000Lシリーズ・アナログ/エフコン株式会社[FCON]

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アナログマスフローコントローラー/汎用モデル

FCST1000Lシリーズ

fujikin
FCST1000Lシリーズ
特長

●ローコスト汎用アナログモデル:アナログ制御専用モデルで高性能/低価格を実現。メンテナンスフリーを思わせる価格でご提供します。
●半導体、ソーラーパネル、燃料電池、一般産業など幅広い分野でご使用頂けます。
●高速応答[ソレノイドバルブ採用]:1sec以下を実現、流量制御範囲(2~100%)を完全に1sec以内でカバー。
●高精度:±1.0%F.S以内。
●メタルシールとラバーシールをラインアップ。
●RoHS対応:RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。

仕様
型式:マスフローコントローラ FCST1005(M)L FCST1030(M)L FCST1050(M)L
型式:マスフローメータ FCSTM1005(M)L FCSTM1030(M)L FCSTM1050(M)L
流量(N2換算流量) 10,20,30,50,
100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM
10,20,30SLM 50SLM
バルブ動作 NC:ノーマルクローズ
制御流量範囲 2~100% F.S
流量精度 ±1% F.S(精度保証範囲:15~35℃) ±2% F.S(同左)
流量設定信号 0.1~5VDC
流量出力信号 0~5VDC
再現性 ±0.2% F.S
応答時間 ≦1sec ≦2sec
必要差圧 50~300KPa 50~300kPa(6~10SLM)
100~300KPa(11~30SLM)
200~300KPa
最大動作圧力 400KPa(G)
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度範囲 5~50℃
外部リーク メタルシール:1×10-11Pa・m3/sec He  ラバーシール:1×10-7Pa・m3/sec He
取付姿勢 指定なし(自由)
供給電源電圧、消費電流 ±15VDC:25mA、-15VDC:180mA
接ガス部材質 SUS316、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)
シール部材質 メタルシール:SUS316L  ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム
アクチュエータ方式 ソレノイドアクチュエータ
表面処理 機械加工仕上げ
接続継手 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal(オプション)

●現在お使いの他社製マスフローからの置き換えが簡単です(ガス種や流量レンジなどの仕様が同等な場合に限ります)。
●ツギテ形状[SWL・VCR相当品]、面間、本体サイズが同じであれば、装置側の改修などは一切必要ありません。
●現在お使いの電源関係をそのままお使い頂けるよう、制御用接続コネクターの変換ケーブルも準備可能です。
○各種専用電源・表示器・設定器・ケーブルなどのマスフローコントローラー用アクセサリー関連のページへ
品番表示/外形寸法
FCST1000外形寸法
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FCST1000シリーズカタログ
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