マスフローコントローラー・FCST1000Lシリーズ・アナログ／エフコン株式会社[FCON]
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アナログマスフローコントローラー／汎用モデル
FCST1000Lシリーズ
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特長
●ローコスト汎用アナログモデル：アナログ制御専用モデルで高性能/低価格を実現。メンテナンスフリーを思わせる価格でご提供します。
●半導体、ソーラーパネル、燃料電池、一般産業など幅広い分野でご使用頂けます。
●高速応答［ソレノイドバルブ採用］：1sec以下を実現、流量制御範囲（2～100％）を完全に1sec以内でカバー。
●高精度：±1.0％F.S以内。
●メタルシールとラバーシールをラインアップ。
●RoHS対応：RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。
仕様
| 型式:マスフローコントローラ | FCST1005(M)L | FCST1030(M)L | FCST1050(M)L |
|---|---|---|---|
| 型式:マスフローメータ | FCSTM1005(M)L | FCSTM1030(M)L | FCSTM1050(M)L |
| 流量（N2換算流量） | 10,20,30,50, 100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM |
10,20,30SLM | 50SLM |
| バルブ動作 | NC：ノーマルクローズ | ||
| 制御流量範囲 | 2～100％ F.S | ||
| 流量精度 | ±1％ F.S（精度保証範囲：15～35℃） | ±2％ F.S（同左） | |
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC | ||
| 流量出力信号 | 0～5VDC | ||
| 再現性 | ±0.2％ F.S | ||
| 応答時間 | ≦1sec | ≦2sec | |
| 必要差圧 | 50～300KPa | 50～300kPa(6～10SLM) 100～300KPa(11～30SLM) |
200～300KPa |
| 最大動作圧力 | 400KPa(G) | ||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | ||
| 使用保証温度範囲 | 5～50℃ | ||
| 外部リーク | メタルシール：1×10-11Pa･m3/sec He ラバーシール：1×10-7Pa･m3/sec He | ||
| 取付姿勢 | 指定なし（自由） | ||
| 供給電源電圧、消費電流 | ±15VDC：25mA、-15VDC：180mA | ||
| 接ガス部材質 | SUS316、磁性ステンレス、PTFE、（ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム） | ||
| シール部材質 | メタルシール：SUS316L ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム | ||
| アクチュエータ方式 | ソレノイドアクチュエータ | ||
| 表面処理 | 機械加工仕上げ | ||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal（オプション） | ||
●現在お使いの他社製マスフローからの置き換えが簡単です（ガス種や流量レンジなどの仕様が同等な場合に限ります）。
●ツギテ形状[SWL・VCR相当品]、面間、本体サイズが同じであれば、装置側の改修などは一切必要ありません。
●現在お使いの電源関係をそのままお使い頂けるよう、制御用接続コネクターの変換ケーブルも準備可能です。
○各種専用電源・表示器・設定器・ケーブルなどのマスフローコントローラー用アクセサリー関連のページへ
品番表示／外形寸法
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製品カタログ
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アナログマスフローコントローラー［FCST1000Lシリーズ］のカタログ（PDFデーター）がダウンロード出来ます。 |
