マスフローコントローラー・FCST2000シリーズ・デジタル/エフコン株式会社[FCON]

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デジタルマスフローコントローラー/ピエゾ

FCST2000シリーズ

fujikin
FCST2000シリーズ
デジタルマスフローコントローラーFCST2000シリーズの特長

●高性能:流量精度±1%S.Pを実現、半導体やフラットパネルディスプレイ、ソーラーパネルなどの高精度な流量計測・制御に最適。
  フジキンWシールIGSへの搭載時には更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現します。
●高性能センサー:低温度流量センサの採用により幅広い安定性と最適構造を実現。
●高信頼性ダイヤフラムバルブ:少ない接ガス面積がパーティクル発生を防止。高速応答ピエゾアクチュエータを採用。
●デジタルインターフェイス標準装備[RS485]:インテリジェンス化されるガス供給ラインに対応、デジタル制御や監視、分析が可能。
●DeviseNetTMインターフェイスに対応(ご指定下さい)。
●RoHS対応:RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。

仕様
型式:マスフローコントローラ FCST2005 FCST2020 FCST2050 FCST2150
型式:マスフローメータ FCSTM2005 FCSTM2020 FCSTM2050 -
流量(N2換算流量) 5,10,20,30,50,100,
200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM
10,20SLM 30,50SLM 100,150SLM
バルブ動作 NC:ノーマルクローズ、NO:ノーマルオープン NC:ノーマルクローズ
制御流量範囲 2~100% F.S
流量精度 2~25%:±0.25% F.S  25~100%:±1%S.P ±2% F.S
流量設定信号 0.1~5VDC
流量出力信号 0~5VDC
再現性 ±0.2% F.S
応答時間 ≦1sec
必要差圧 50~300KPa NO 50~300KPa(10SLM) 100~300KPa(30SLM)
150~300KPa(50SLM)
200~350KPa(100SLM)
250~350KPa(150SLM)
100~300KPa (20SLM)
NC 100~300KPa(10SLM)
200~300KPa (20SLM)
最大動作圧力 300KPa(G) 350KPa(G)
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度範囲 5~50℃
外部リーク 1×10-11Pa・m3/sec He
取付姿勢 指定なし(自由)
消費電流 +15VDC:100mA、-15VDC:50mA +15VDC:100mA
-15VDC:200mA
接ガス部材質 SUS316L,PCTFE SUS316L,PCTFE,FKM
シール部材質 Au
アクチュエータ方式 ピエゾアクチュエータ ソレノイドアクチュエータ
表面処理 EP処理
接続継手 1.125W-Seal、1.5W-Seal、1/4インチUJR 3/8インチUJR

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豊富なアプリケーション
デジタル回路で構成されているマスフローコントローラーは、アナログ入出力の他にデジタル通信(RS-485)機能がありますので、各種アプリケーションは監視、健全性管理、トラブル解析、在庫削減に効果を発揮します。詳細につきましては、お問い合わせ下さい。
Application
外形寸法
FCST2000外形寸法
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