マスフローコントローラー・FCST1000Fシリーズ・デジタル/エフコン株式会社[FCON]

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デジタルマスフローコントローラー/標準モデル

FCST1000Fシリーズ

fujikin
FCST1000シリーズ
特長

●高機能デジタルモデル:高性能/低価格を実現、半導体やソーラーパネルから一般産業まで幅広い分野でご使用頂けます。
●高速応答[ソレノイドバルブ採用]:1sec以下を実現。
●デジタルインターフェイス標準装備[RS485]:インテリジェンス化されるガス供給ラインに対応、デジタル制御や監視、分析が可能。
●マイクロコンピューター内蔵:デジタルMFCが持つパフォーマンスを最大限に活かします。
●メタルシールとラバーシールをラインアップ。
●DeviseNetTMインターフェイスに対応(ご指定下さい)。
●RoHS対応:RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。

仕様
型式:マスフローコントローラ FCST1005(M)F
FCST1005(M)FD
FCST1030(M)F
FCST1030(M)FD
FCST1050(M)F
FCST1050(M)FD
FCST1200F
FCST1200FD
FCST1500F
FCST1500FD
型式:マスフローメータ FCSTM1005(M)F
FCSTM1005(M)FD
FCSTM1030(M)F
FCSTM1030(M)FD
FCSTM1050(M)F
FCSTM1050(M)FD
FCSTM1200F
FCSTM1200FD
FCSTM1500F
FCSTM1500FD
流量(N2換算流量) 10,20,30,50,
100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM
10,20,30SLM 40,50SLM 100,150,200SLM 300,400,500SLM
バルブタイプ NC:ノーマルクローズ、NO:ノーマルオープン NC:ノーマルクローズ
制御流量範囲 2~100% F.S
流量精度 ±1% F.S(精度保証範囲15~35℃) ±2% F.S(同左)
流量設定信号 0.1~5VDC
流量出力信号 0~5VDC
再現性 ±0.2% F.S ±0.4% F.S
応答時間 ≦1sec ≦3sec
必要差圧 50~300KPa NO 50~300KPa
(6~10SLM)
200~300KPa 100~300KPa 150~300KPa
100~300KPa
(11~20SLM)
150~300KPa
(21~30SLM)
NC 50~300KPa
(6~10SLM)
100~300KPa
(11~30SLM)
最大動作圧力 400KPa(G) 700KPa(G)
耐圧力 1MPa(G)
使用保証温度 5~50℃ 5~45℃
外部リーク メタルシール:1×10-11Pa・m3/sec He  ラバーシール:1×10-7Pa・m3/sec He
取付姿勢 指定なし(自由)
供給電源電圧、消費電流 +15VDC:50mA、-15VDC:200mA
DeviceNet:+11~24VDC、5.5VA(5.5W)
+15VDC:50mA、-15VDC:350mA
DeviceNet:+11~24VDC、8.5VA(8.5W)
通信方式 アナログ:0~5VDC/デジタル:RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet
接ガス部材質 SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) SUS316、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム
シール部材質 メタルシール:SUS316L  ラバーシール:フッ素ゴム又はクロロプレンゴム
アクチュエータ方式 ソレノイドアクチュエータ
表面処理 EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し 機械加工仕上げ
接続継手 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal 3/8インチUJR
3/8インチF900
1/2インチUJR
1/2インチF900
デジタル通信 RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台

※大流量メタルシールをご要望の際は別途お問い合わせ下さい。
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豊富なアプリケーション
デジタル回路で構成されているマスフローコントローラーは、アナログ入出力の他にデジタル通信(RS-485)機能がありますので、各種アプリケーションは監視、健全性管理、トラブル解析、在庫削減に効果を発揮します。詳細につきましては、お問い合わせ下さい。
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FCST1000外形寸法
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