型式:マスフローコントローラ | C100L | C100M | C100M1 | C100H | C100H1 | C100H2 |
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型式:マスフローメータ | M100L | M100M | M100M1 | M100H | M100H1 | M100H2 |
流量レンジ | 10SCCM~50SLPM | 20~200SLPM | 201~300SLPM | 100~500SLPM | 501~800SLPM | 801~1000SLPM |
バルブタイプ | NC:ノーマルクローズ | |||||
アクチュエータ方式 | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | |||||
制御流量範囲 | 2~100% F.S | |||||
応答性*1 | 2sec(設定値の±2%以内) | |||||
流量精度*2 | ±1.0% F.S | ±2.0% F.S | ±1.0% F.S | |||
再現性*2 | ±0.2% F.S | |||||
耐圧 | 3.4MPa(G) | |||||
外部リーク | 5×10-10Pa・m3/sec He | |||||
使用可能温度範囲 | 0~50℃ | |||||
設定/出力信号 | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232 変更可 オプション:RS485、DeviceNet、Modbus RTU(RS232、RS485)、Profibus DP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
|||||
温度影響 | ±0.05%/℃ F.S | |||||
圧力影響 | ±0.0015%/kPa F.S | |||||
接ガス部材質 | SUS316L、バイトン*3 or ネオプレン*3 or カルレッツ*3 or ポリアミド*3 *4 選択 | |||||
シール部材質 | バイトン*3 or ネオプレン*3 選択 | |||||
駆動電源(MFC) | 24VDC±10% 500mA | 24VDC±10% 800mA | 24VDC±10% 1260mA | |||
駆動電源(MFM) | 15~24VDC ±10% 30mA |
15~24VDC±10% 230mA | ||||
接続継手 | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
型式:マスフローコントローラ | C100L-HP | C140 | C101 | C50L | C50M |
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型式:マスフローメータ | - | - | M101 | M50L | - |
流量レンジ | 10SCCM~20SLPM | 10SCCM~200SLPM | 4SCCM | 20SCCM~50SLPM | 50~200SLPM |
バルブタイプ | NC:ノーマルクローズ | ||||
アクチュエータ方式 | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | ||||
制御流量範囲 | 2~100% F.S | ||||
応答性*1 | 2sec(設定値の±2%以内) | ||||
流量精度*2 | ±1.0% F.S | ||||
再現性*2 | ±0.2% F.S | ±0.25% F.S | |||
耐圧 | 10.3MPa(G) | 3.4MPa(G) | 1MPa(G) | ||
外部リーク | 5×10-10Pa・m3/sec He | ||||
使用可能温度 | 0~50℃ | ||||
設定/出力信号 | 標準:0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232 変更可 オプション:RS485、DeviceNet、Modbus RTU(RS232、RS485) Profibus DP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
RS232 or 0~5VDC+RS232 or 4~20mA+ RS232 or RS485選択 |
|||
温度影響 | ±0.05%/℃ F.S | ||||
圧力影響 | ±0.0015%/kPa F.S | ||||
接ガス部材質 | SUS316L、バイトン*3 or ネオプレン*3 or カルレッツ*3 or ポリアミド*3 *4 選択 | SUS316L or アルミ選択、バイトン*3 | |||
シール部材質 | バイトン*3 or ネオプレン*3 選択 | バイトン*3 | |||
駆動電源(MFC) | 24VDC±10% 800mA | 24VDC±10% 400mA | 24VDC±10% 315mA RS485:130mA |
24VDC±10% 850mA RS485:130mA |
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駆動電源(MFM) | - | 15~24VDC ±10% 130mA |
15~24VDC ±10% 85mA |
- | |
接続継手 | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
■外形寸法は、下記カタログをダウンロードの上、ご参照頂きますようお願い致します。 |
パイロットモジュールマスフローコントローラー[SmartTrakシリーズ]のカタログ(PDFデーター)がダウンロード出来ます。 |