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Mass Flow Controller
2000 Series・・・・・・・・・・・・・・・Digital Mass Flow Controller
1000 Series・・・・・・・・・・・・・・・Analog Mass Flow Controller
CUBEMFC／MFM・・・・・・・・・・・・Compact Flow Control／Meter Unit
Control Power supply・・・・・・・・・・・PA01PS (panel mount type)・PA01S (floor stand type)
GFM Series・・・・・・・・・・・・・・・Compact Flow Ｇas Meter
GFM dedicated Power supply・・・・・・・PA02M／SC Series (Signal cable)
Gas Mixer
CUBEGM series・・・・・・・・・・・・・Manual type Gas Mixer
CUBEGM-X Series・・・・・・・・・・・Touch panel type Gas Mixer
CUBEGM-Xα Series・・・・・・・・・・・Touch panel type Gas Mixer (Buffer tank specification)
