品名 | CUBEGM-Xαシリーズ |
---|---|
サイズ | CUBEGM-Xα2:W350×D400×H1100(mm) ※タンク容量10Lの場合 CUBEGM-Xα3:W430×D400×H1100(mm) ※タンク容量10Lの場合 CUBEGM-Xα4:W510×D400×H1100(mm) ※タンク容量10Lの場合 注1) 高さは、タンク容量で決まります。 注2) サイズは、突起部を含みません。 |
入力電源 | AC100V |
消費電流 | 約125VA ※マスフローコントローラー3台搭載の場合 |
流量レンジ | 1ライン:F.S.10SCCM~20SLM ※但し混合ガス流量が50SLM以下のこと |
流量制御 | MFC:C1000シリーズ又はFCST1000シリーズ |
流量設定/出力表示 | 0~5VDC |
INLET、OUTLETバルブ | 電磁バルブ |
外部リーク | ≦5×10-7Pa・m3/sec He |
耐圧 | 0.5MPa |
接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム (FCST1000シリーズの場合:磁性ステンレス、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) |
配管接続 | 1/4in.SWL(相当品)、その他の継手はご相談下さい。 |
使用環境 | 温度:5~50℃ 精度保証範囲:15~35℃ 湿度30~80%(結露なきこと) |
付属品 | ACケーブル(2m)、取扱説明書 |