マスフローコントローラー・FCST1000Fシリーズ・デジタル／エフコン株式会社[FCON]
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デジタルマスフローコントローラー／標準モデル
FCST1000Fシリーズ
特長
●高機能デジタルモデル：高性能/低価格を実現、半導体やソーラーパネルから一般産業まで幅広い分野でご使用頂けます。
●高速応答［ソレノイドバルブ採用］：1sec以下を実現。
●デジタルインターフェイス標準装備［RS485]：インテリジェンス化されるガス供給ラインに対応、デジタル制御や監視、分析が可能。
●マイクロコンピューター内蔵：デジタルＭＦＣが持つパフォーマンスを最大限に活かします。
●メタルシールとラバーシールをラインアップ。
●DeviseNetTMインターフェイスに対応（ご指定下さい）。
●RoHS対応：RoHS規制に対応しており、地球環境に配慮した製品です。
仕様
| 型式:マスフローコントローラ | FCST1005(M)F FCST1005(M)FD |
FCST1030(M)F FCST1030(M)FD |
FCST1050(M)F FCST1050(M)FD |
FCST1200F FCST1200FD |
FCST1500F FCST1500FD |
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|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式:マスフローメータ | FCSTM1005(M)F FCSTM1005(M)FD |
FCSTM1030(M)F FCSTM1030(M)FD |
FCSTM1050(M)F FCSTM1050(M)FD |
FCSTM1200F FCSTM1200FD |
FCSTM1500F FCSTM1500FD |
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| 流量（N2換算流量） | 10,20,30,50, 100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM |
10,20,30SLM | 40,50SLM | 100,150,200SLM | 300,400,500SLM | |
| バルブタイプ | NC：ノーマルクローズ、NO：ノーマルオープン | NC：ノーマルクローズ | ||||
| 制御流量範囲 | 2～100％ F.S | |||||
| 流量精度 | ±1％ F.S（精度保証範囲15～35℃） | ±2％ F.S（同左） | ||||
| 流量設定信号 | 0.1～5VDC | |||||
| 流量出力信号 | 0～5VDC | |||||
| 再現性 | ±0.2％ F.S | ±0.4％ F.S | ||||
| 応答時間 | ≦1sec | ≦3sec | ||||
| 必要差圧 | 50～300KPa | NO | 50～300KPa (6～10SLM) |
200～300KPa | 100～300KPa | 150～300KPa |
| 100～300KPa (11～20SLM) |
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| 150～300KPa (21～30SLM) |
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| NC | 50～300KPa (6～10SLM) |
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| 100～300KPa (11～30SLM) |
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| 最大動作圧力 | 400KPa(G) | 700KPa(G) | ||||
| 耐圧力 | 1MPa(G) | |||||
| 使用保証温度 | 5～50℃ | 5～45℃ | ||||
| 外部リーク | メタルシール：1×10-11Pa･m3/sec He ラバーシール：1×10-7Pa･m3/sec He | |||||
| 取付姿勢 | 指定なし（自由） | |||||
| 供給電源電圧、消費電流 | +15VDC：50mA、-15VDC：200mA DeviceNet：+11～24VDC、5.5VA(5.5W) |
+15VDC：50mA、-15VDC：350mA DeviceNet：+11～24VDC、8.5VA(8.5W) |
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| 通信方式 | アナログ：0～5VDC／デジタル：RS485（フジキンプロトコル）、DeviceNet | |||||
| 接ガス部材質 | SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、（ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム） | SUS316、PTFE、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム | ||||
| シール部材質 | メタルシール：SUS316L ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム | |||||
| アクチュエータ方式 | ソレノイドアクチュエータ | |||||
| 表面処理 | EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し | 機械加工仕上げ | ||||
| 接続継手 | 1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal | 3/8インチUJR 3/8インチF900 |
1/2インチUJR 1/2インチF900 |
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| デジタル通信 | RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台 | |||||
※大流量メタルシールをご要望の際は別途お問い合わせ下さい。
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豊富なアプリケーション
デジタル回路で構成されているマスフローコントローラーは、アナログ入出力の他にデジタル通信（RS-485）機能がありますので、各種アプリケーションは監視、健全性管理、トラブル解析、在庫削減に効果を発揮します。詳細につきましては、お問い合わせ下さい。
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品番表示／外形寸法
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製品カタログ
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デジタルマスフローコントローラー［FCST1000Fシリーズ］のカタログ（PDFデーター）がダウンロード出来ます。 |
